半導(dǎo)體光刻材料生產(chǎn)過程中的控溫循環(huán)機(jī)組是確保光刻膠涂布、顯影等關(guān)鍵工藝穩(wěn)定性的核心設(shè)備之一。

半導(dǎo)體光刻材料生產(chǎn)控溫循環(huán)機(jī)組功能

高精度溫控：通常需維持±0.1℃甚至±0.01℃的穩(wěn)定性，避免溫度波動(dòng)導(dǎo)致光刻膠性質(zhì)變化。

快速響應(yīng)：應(yīng)對(duì)工藝中的動(dòng)態(tài)熱負(fù)荷（如硅片加熱/冷卻）。

潔凈度：循環(huán)介質(zhì)（通常為超純水或特殊流體）需滿足半導(dǎo)體級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn)（顆粒物≤0.1μm）。

多區(qū)域協(xié)同：支持光刻機(jī)、涂膠機(jī)、烘烤板等多設(shè)備并聯(lián)控溫。

半導(dǎo)體光刻材料生產(chǎn)控溫循環(huán)機(jī)組系統(tǒng)組成

制冷/加熱模塊：

采用壓縮機(jī)制冷（變頻渦旋式），搭配電加熱器實(shí)現(xiàn)雙向調(diào)溫。

冗余設(shè)計(jì)確保24/7連續(xù)運(yùn)行。

循環(huán)單元：

磁力驅(qū)動(dòng)泵（無金屬污染風(fēng)險(xiǎn)）、鈦合金/PTFE管路。

低流量波動(dòng)設(shè)計(jì)（脈動(dòng)阻尼器）。

溫度傳感器：

PT100或薄膜鉑電阻（Class A級(jí)精度），多探頭冗余校驗(yàn)。

控制系統(tǒng)：

PID算法+前饋控制，集成FFT濾波消除噪聲干擾。

支持SECS/GEM通信協(xié)議，與Fab MES系統(tǒng)對(duì)接。

康士捷有高溫型（5℃～35℃）、中溫型（-5℃～-40℃）、低溫型（-40℃～-80℃）、超低溫型（-150℃～-80℃）、冷熱兩用型（-150℃～+300℃）等系列產(chǎn)品供貴司選用。選型，價(jià)格，方案等與18936116791賴先生溝通